下载载体测量装置、载体测量方法及载体管理方法的技术资料

文档序号:38091818

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本发明的载体测量装置(1)具备:旋转桌台(23)、桌台驱动马达(24)、上部厚度传感器(41)和下部厚度传感器(42)、滑动部(13)。旋转桌台(23)具有载体容纳部(23A),用于水平容纳保持半导体晶片的孔(21A)偏心而形成的载体(21...
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