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盒型五阶基片集成波导交叉耦合滤波器制造技术
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文档序号:38085266
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本发明公开了一种盒型五阶基片集成波导交叉耦合滤波器,包括平行设置的上层RDL和下层RDL,上层RDL和下层RDL之间设有硅衬底,硅衬底内分布有五个由TSV构成的谐振腔,五个谐振腔为对称结构,上层RDL的中心处开设有“工”字型槽,上层RDL的...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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