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一种激光微加工工艺，称为激光辅助材料相变和喷出(LAMPE)微加工，包括使用脉冲激光在一块材料的切割表面中切割特征，脉冲激光的强度、脉冲宽度以及脉冲频率被设置为熔化并喷射液体材料，且不使材料汽化，或者在硅的情况下，产生可喷射的氧化硅。通过使...
该专利属于麻省理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过麻省理工学院授权不得商用。

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