温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基于悬浮二维材料的压力传感器及其制备方法，属于微电子压力传感器技术领域。压力传感器采用悬浮二维材料作为敏感薄膜结构，其中，电极与悬浮二维材料相连接，当外部施加的压力使悬浮二维材料产生形变及应变，根据二维材料压阻效应，悬浮二维材...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。