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本申请涉及半导体辅助设备技术领域，公开了一种用于晶圆承载盘的防护装置，包括防护主板和防护侧板，所述防护侧板绕所述防护主板的侧边一体连接且构成一防护槽，所述防护槽与晶圆承载盘相匹配，所述防护主板和所述防护侧板均由聚四氟乙烯材料制成，在所述防护...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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