下载一种保护MEMS芯片不受散点污染的盖板的技术资料

文档序号:38070091

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本实用新型公开了一种保护MEMS芯片不受散点污染的盖板,包括上盖板和下盖板,上盖板内部开设有喷胶孔,喷胶孔内壁一侧安装有保护挡板,且保护挡板设置在塑封产品的MEMS芯片区域上方,塑封产品的ASIC芯片上侧设有喷胶头,喷胶孔和保护挡板呈矩形阵...
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