下载液体存储装置以及原子层沉积设备的技术资料

文档序号:38059071

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本实用新型提供一种液体存储装置以及原子层沉积设备,该液体存储装置包括:储液容器,包括容器壁且构造为存储液态的前驱体材料;液位传感器,设置在所述储液容器的容器壁上,且从所述储液容器的外部延伸到所述储液容器内部,构造为检测所述储液容器内所述液态...
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