下载MEMS封装结构的技术资料

文档序号:38054360

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本实用新型属于封装技术领域,公开了MEMS封装结构。该MEMS封装结构包括PCB板、第一壳体和第二壳体;MEMS设于PCB板上,第一壳体罩设于PCB板设有MEMS的一侧,第一壳体与PCB板之间形成第一腔体;第二壳体设于第一壳体内,且与第一壳...
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