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本发明公开一种像素发声单元及其制造方法、数字发声芯片，涉及数字发声芯片技术领域，以解决背腔压力泄露的问题。所述像素发声单元包括依次层叠的基底、电极板、介质层以及振动板，电极板与基底之间形成有空气后腔，电极板与振动板之间存在间隙，电极板上设置...
该专利属于地球山（苏州）微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过地球山（苏州）微电子科技有限公司授权不得商用。

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