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本申请涉及谐振器技术领域，公开一种体声波谐振器、用于制作体声波谐振器的方法，其中体声波谐振器包括：第一电极结构；第二电极结构；压电层，位于第一电极结构和第二电极结构之间；第一介质层，位于压电层和第二介质层之间；第二介质层，形成位于第一介质层...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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