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本发明提供了一种通信器件、传感器件、表面声波谐振器及其制作方法，表面声波谐振器包括：衬底、压电层以及金属层；压电层位于衬底上；金属层位于压电层远离衬底的一侧上，金属层包括叉指换能器与反射栅，反射栅位于叉指换能器的两侧，反射栅与叉指换能器的材...
该专利属于深圳市汇芯通信技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市汇芯通信技术有限公司授权不得商用。

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