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本申请的实施例公开了一种晶圆处理设备及传输方法，其中晶圆处理设备包括片腔；负载锁定腔；第一传输腔，位于片腔和负载锁定腔之间，第一传输腔内包括第一机械手，第一机械手可将晶圆在片腔和负载锁定腔之间传输；至少一个晶圆处理腔；及第二传输腔，第二传输...
该专利属于无锡先为科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡先为科技有限公司授权不得商用。

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