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元件的移载方法、元件移载机、对象物的移载方法及对象物的移载机技术
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文档序号:38014766
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本发明提出下述方法及装置,即:针对排列于第一基板上的元件,一边修正其位置偏移一边使用激光向第二基板移载。获取第一基板上的元件的实际位置信息,按照基于可容许的位置偏移量所决定的基准进行分组,以各组为单位,以元件的位置限制于可容许的位置偏移量的...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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