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本发明涉及真空炉技术领域，具体是涉及一种单腔体真空炉炉膛内料片进给装置，在进行料片进给时，移动机构能够带动动力辊组进行水平和竖直方向的移动，动力辊组的驱动辊带动下压机构工作，下压机构带动输送辊组将料片步进式从进给台组的一端输送至另一端，同时...
该专利属于芯朋半导体科技（如东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯朋半导体科技（如东）有限公司授权不得商用。

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