下载集成组合件和形成集成组合件的方法的技术资料

文档序号:38008720

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一些实施例包含一种集成组合件,其具有导电结构、延伸穿过所述导电结构的环状结构以及给所述环状结构的内部周边加内衬的活性材料结构。所述环状结构包含介电材料。所述活性材料结构包含二维材料。一些实施例包含形成集成组合件的方法。组合件的方法。组合件的...
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