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集成组合件和形成集成组合件的方法技术
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文档序号:38008720
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一些实施例包含一种集成组合件,其具有导电结构、延伸穿过所述导电结构的环状结构以及给所述环状结构的内部周边加内衬的活性材料结构。所述环状结构包含介电材料。所述活性材料结构包含二维材料。一些实施例包含形成集成组合件的方法。组合件的方法。组合件的...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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