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本发明提供一种MEMS麦克风结构及其制备方法，该MEMS麦克风结构包括基板、振膜、背极板、背板、背极及振膜引出电极，其中，基板中设有空腔；振膜悬设于空腔的上方，振膜包括第一折叠区域及泄气孔；背极板悬设于振膜上方，背极板包括第二折叠区域及第一...
该专利属于瑶芯微电子科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑶芯微电子科技（上海）有限公司授权不得商用。

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