下载微流体液体输送装置的技术资料

文档序号:38001685

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本发明涉及一种液体输送装置,其包括通道、气体质量流量计和压力控制单元,所述通道具有低于9mm2的截面以及低于50mL的内部容积。的截面以及低于50mL的内部容积。的截面以及低于50mL的内部容积。
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该专利属于阿斯特拉维斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿斯特拉维斯公司授权不得商用。

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