下载用于集成加速度传感器的装配设备及其集成装配方法的技术资料

文档序号:38001514

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本发明提供了一种用于集成加速度传感器的装配设备及其集成装配方法,所述加速度传感器包括石英摆片、第一石英振梁和第二石英振梁,所述装配设备包括机身、设置于所述机身的工装台,其中,所述装配设备还包括均相对于所述机身可活动地设置的上吸附装置和下吸附...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。

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