【技术实现步骤摘要】
用于集成加速度传感器的装配设备及其集成装配方法
[0001]本专利技术涉及石英谐振式加速度传感器的集成领域，尤其涉及一种用于集成加速度传感器的装配设备及其集成装配方法。
技术介绍
[0002]本专利技术属于微观领域的超精密操作，应用于石英谐振式加速度传感器中跨尺度零件间的直接键合。
[0003]石英谐振式加速度传感器(以下均简称为传感器)是惯性测量系统的关键核心器件之一，其在航空航天、惯性导航与制导、武器稳姿稳瞄、地震监测等方面，对加速度传感器精度有很高要求的高精尖领域都有着十分重要的应用价值，己成为微传感器的一个重要发展方向。其采用谐振原理，由石英质量
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弹簧系统和石英谐振器组成差动布置，石英敏感其质量受到加速度作用时会产生位移，引起石英谐振器受到轴向拉力/压力的作用。在拉应力/压应力作用下，差动布置的石英谐振器其中一个频率升高，另一频率会降低。配合谐振电路将谐振器振动频率以周期电信号形式输出，用频率采集电路测量波形频率，实现加速度信号的频率式数字化测量，具有高分辨力、高稳定性特征。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于集成加速度传感器的装配设备，所述加速度传感器包括石英摆片、第一石英振梁和第二石英振梁，所述装配设备包括机身、设置于所述机身的工装台，其特征在于，所述装配设备还包括均相对于所述机身可活动地设置的上吸附装置和下吸附装置、设置于所述机身的上视觉装置和下视觉装置，所述上视觉装置用于识别所述下吸附装置的位置，所述下视觉装置用于识别所述上吸附装置的位置。2.根据权利要求1所述的用于集成加速度传感器的装配设备，其特征在于，所述上视觉装置包括上镜头和固定于所述上镜头处的上环形光源，所述下视觉装置包括下镜头和固定于所述下镜头处的下环形光源。3.根据权利要求1所述的用于集成加速度传感器的装配设备，其特征在于，所述上视觉装置和下视觉装置均相对于所述机身固定设置。4.根据权利要求1所述的用于集成加速度传感器的装配设备，其特征在于，所述工装台上设有定位结构，以方便识别所述石英摆片的放置位置。5.根据权利要求4所述的用于集成加速度传感器的装配设备，其特征在于，所述定位结构设置为凹槽。6.根据权利要求1所述的用于集成加速度传感器的装配设备，其特征在于，所述上吸附装置设有上加热单元，所述下吸附装置设有下加热单元。7.根据权利要求6所述的用于集成加速度传感器的装配设备，其特征在于，所述上加热单元和下加热单元均设置为电磁加热。8.根据权利要求1所述的用于集成加速度传感器的装配设备，其特征在于，所述上吸附装置和下吸附装置上均设置压力传感器。...
【专利技术属性】
技术研发人员：王阳俊，陈立国，刘欢，薛立伟，赵悦，孙承峰，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：
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