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本发明公开了一种用于半导体生产的节能降耗设备，包括烘干箱，所述烘干箱顶部固定设置有温度传感器，且温度传感器的检测端延伸至烘干箱的内部，所述烘干箱内部固定设置有隔热板，所述烘干箱的表面设置有便于对半导体进行放置的放置组件，所述隔热板内部设置有...
该专利属于麦斯克电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料股份有限公司授权不得商用。

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