温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种晶圆片翻膜装置，包括固定架，所述固定架的侧壁上安装有双向驱动机构，双向驱动机构的中部从上往下依次设置有翻转定位机构、气吸机构，固定架的上端通过支架与揭膜机构连接，本发明可以解决现有的按压方式的定位难以控制力度，力度较小容易造成...
该专利属于深圳市博辉特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市博辉特科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。