下载一种硅片切割机的技术资料

文档序号:3799631

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本实用新型提供了一种硅片切割机。其针对不同的加工件,不需要频繁更换部件,且其在保证对硅片快速切割的同时保证了硅片表面质量以及合格率。其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割液的冷却装置,其特征在于:收放线结构包括卷绕电机和放线电机,所述...
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