下载一种差频声场式时栅直线位移传感系统的技术资料

文档序号:37995871

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本发明公开了一种差频声场式时栅直线位移传感系统,包括激光光源、动尺、定尺、光电接收器和信号控制系统;动尺具有动尺声光晶体,定尺具有定尺声光晶体。激光光源、动尺、定尺、光电接收器从上至下布置,动尺能相对于定尺左右移动。信号控制系统包括信号产生...
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