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本发明属于高分子光刻材料及半导体器件领域，具体公开了一种高分辨耐溶剂疏液光刻材料和制备方法及其在薄膜晶体管的应用，制备方法包括以下步骤：（1）将含氟丙烯酸酯和双丙烯酸酯溶于溶剂中，再加入热引发剂，混合均匀后加热，得到预聚液；（2）将所述预聚...
该专利属于郑州大学所有，仅供学习研究参考，未经过郑州大学授权不得商用。

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