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本申请提供一种绝缘介质窗清洗设备及方法，应用于晶圆加工技术领域，其中，绝缘介质窗清洗设备，包括：导电薄膜设置在电感耦合机台的绝缘介质窗上；在直流偏压的作用下，绝缘介质窗、腔体和腔体盖之间的等离子体，被库仑力吸引持续轰击绝缘介质窗表面，使得绝...
该专利属于上海邦芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海邦芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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