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本发明公开了一种空腔型体声波谐振器及其制作方法。所述制作方法包括：在具有图形化的低温结晶层或极性调节层的基底上外延生长具有双极性结构的外延层；在所述外延层上形成底电极，且使所述底电极覆盖所述外延层的氮极性部分和金属极性部分，以及，在形成所述...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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