温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的夹紧用夹具包括：支柱部；把持部，其位于支柱部的一方的端部，并用于把持基板的外周部；以及基部，其位于支柱部的另一方的端部，并用于支承支柱部。至少基部包含以碳化硅为主成分的陶瓷。在基部中，在上侧主面存在的碳比在上侧主面以外的部分存在的碳...
该专利属于京瓷株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过京瓷株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。