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本发明涉及芯粒测试技术领域，特别涉及一种用于测试芯粒的针卡伺服控制设备、系统和方法。设备包括：固定架、芯粒安装部、针卡安装部、电机、编码器、伺服驱动单元、伺服控制单元、电流传感器和电源；伺服控制单元分别与伺服驱动单元、编码器、上位机连接，用...
该专利属于中诚华隆计算机技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中诚华隆计算机技术有限公司授权不得商用。

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