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本发明提供一种晶圆异常位置的实时检测方法及装置，所述方法包括：采集晶圆盒内晶圆位置的实时图像；利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和两侧托架边缘，根据所述晶圆边缘相对于所述两侧托架边缘的位置，以判断所述晶圆盒内的晶圆位置是否异常。本...
该专利属于中芯智达半导体科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯智达半导体科技（上海）有限公司授权不得商用。

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