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本发明涉及集成光电子学领域，具体是一种铌酸锂薄膜光波导及其制备方法，方法包括：S1、模板的加工及待加工样品的匀胶；S2、图案转移；S3、脱模；S4、第一次去胶；S5、刻蚀，第二次去胶；S6、抛光。本发明的铌酸锂薄膜光波导具有低损耗、高性能的...
该专利属于江苏浦丹光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏浦丹光电技术有限公司授权不得商用。

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