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本发明公开了一种集成电路制造用静电防护装置，包括壳体、后端盖和前端盖，所述壳体的前后两侧分别设置有前端盖和后端盖，所述后端盖的内部设置有筛网，所述壳体的内部设置有固定板，所述固定板的内部贴合设置有离子风机，所述前端盖的内部设置有第一固定道；...
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