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本发明公开了一种应用于MEMS力敏感传感器的封装级应力隔离结构，基于MEMS工艺一体加工成形，包括隔离结构外围框架及位于外围框架内的隔离结构内部框架。外围框架和内部框架之间通过等厚正六边形蜂窝状的阵列支撑悬臂梁连接，外围框架和内部框架上具有...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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