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膜形成方法、物品制造方法、供应设备、膜形成装置和基板制造方法及图纸
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下载膜形成方法、物品制造方法、供应设备、膜形成装置和基板的技术资料
文档序号:37987582
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在基板上形成膜的膜形成方法中,所述基板包括:包含第一凹陷部分和第二凹陷部分的区域,所述第一凹陷部分的宽度大于所述第二凹陷部分的宽度,并且所述膜形成方法包括:第一步骤,将第一材料选择性地供应到所述第一凹陷部分中,并对所述第一材料进行成型;以及...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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