下载研磨垫、及研磨加工物的制造方法的技术资料

文档序号:37987574

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本发明涉及具备研磨层和缓冲层的研磨垫,在干燥状态、频率10rad/s、20~100℃的弯曲模式条件下进行的动态粘弹性测定的40℃时的储能模量E
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