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本发明提供了一种降低碳化硅多线切割头尾部晶片翘曲度的方法及晶片，所述方法包括以下步骤：(1)采用固定板将待切割碳化硅晶体的头尾部进行固定夹持；(2)将切割线均匀绕置于多线切割机上，并在绕线过程中进行跳线操作，以避开固定板的位置；(3)启动切...
该专利属于江苏超芯星半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏超芯星半导体有限公司授权不得商用。

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