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基于氧化镓/阻挡层/氮化镓异质结的紫外光电探测器制造技术
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下载基于氧化镓/阻挡层/氮化镓异质结的紫外光电探测器的技术资料
文档序号:37986844
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本发明涉及一种基于氧化镓/阻挡层/氮化镓异质结的紫外光电探测器,所述异质结包括:衬底(1)、缓冲层(2)、GaN层(3)、阻挡层(4)、本征Ga2O3层(5)和n型重掺杂Ga2O3层(6);衬底(1)、缓冲层(2)、GaN层(3)、阻挡层(...
该专利属于东北师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北师范大学授权不得商用。
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