温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种半导体零件加工用的工装，其包括：预制成型的密封堵，其底部具有与阀杆的第一安装孔配合的凸台，中部具有用于与所述阀杆配合的安装面，顶部采用由下至上渐缩的圆锥台结构；工装底座，其内部设置有第一固定套，所述阀杆的底部设置在所述第一固定...
该专利属于中科艾尔（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科艾尔（北京）科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。