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本发明提供一种直写光刻镜头角度的测量方法、计算设备及存储介质，该直写光刻镜头角度的测量方法包括：控制直写光刻机的光刻镜头对沿z轴方向位于光刻镜头下方的感光标尺光刻至少两个标定图案；控制同一对位相机分别拍摄至少两个标定图案，得到至少两个标定图...
该专利属于广东科视光学技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东科视光学技术股份有限公司授权不得商用。

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