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中国科学院上海硅酸盐研究所
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一种压电微位移器叠堆及其制备方法技术
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文档序号:37984595
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本发明提供了一种压电微位移器叠堆及其制备方法,在陶瓷片与片间加一个金属薄片(铜片、铝片、锡片等)作为中间层。本发明的技术方案,可使内电极清晰可见,很大程度提高了压电叠堆内电极引出效率,增强了压电叠堆的牢固性和可靠性。和可靠性。和可靠性。
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。
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