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金属遮罩结构、制备遮蔽层的光罩、以及利用光罩制备金属遮罩结构的方法技术
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文档序号:37984524
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本发明提出一种金属遮罩结构、制备遮蔽层的光罩、以及利用光罩制备金属遮罩结构的方法。该金属遮罩结构包含板材,且板材至少包含:形成有至少一开槽的图形区;设置于图形区的一侧之非图形区;以及沿着延伸方向延伸而介于图形区与非图形区之间的切割槽。切割槽...
该专利属于达运精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过达运精密工业股份有限公司授权不得商用。
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