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用于确定多个子束的位置的方法和系统包括：通过使所述子束在第一样本区域上进行扫描来执行第一扫描并获取多个单元图像；以及通过使所述子束在第二样本区域上进行扫描来执行第二扫描并获取多个单元图像。每个单元图像对应于一个子束，并且所述第一样本区域和所...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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