下载13族元素氮化物结晶层的培养方法、氮化物半导体铸锭以及溅射靶的技术资料

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通过使13族元素氮化物结晶层以高培养速度生长,得到厚度较大的结晶层。在至少包含晶种层的基底基板上来培养13族元素氮化物结晶层。将基底基板浸渍于包含助熔剂的熔液中,通过助熔剂法,在晶种层的氮极性面上二维地培养13族元素氮化物结晶层。13族元素...
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