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本申请实施例涉及一种等离子体诱导损伤测试结构及等离子体诱导损伤测试方法；其中，测试结构包括：形成在同一衬底上的多个待测试元件；与多个待测试元件分别对应连接的多个天线结构；其中，多个天线结构分别位于不同的布线层；每相邻两天线结构之间通过层间介...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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