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本发明属于集成电路制造技术领域，公开了一种晶圆夹持机构及晶圆传输装置，包括本体、传动件、第一驱动件、两个夹持组件和两个联动轴。传动件转动设置于本体上。第一驱动件的输出端连接于传动件，用于驱动传动件相对于本体旋转。两个夹持组件沿第一方向滑动连...
该专利属于宁波芯丰精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波芯丰精密科技有限公司授权不得商用。

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