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本发明公开了一种大尺寸基板的固晶平台及其控制方法，大尺寸基板的固晶平台包括底座、第一移动座、第二移动座、第一滑轨结构和第二滑轨结构，底座设于固晶机上；第一移动座沿第一方向活动安装于底座；第二移动座沿第二方向活动安装于第一移动座，第二方向与第...
该专利属于深圳市万福达智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市万福达智能装备有限公司授权不得商用。

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