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本发明公开了一种声波谐振器，包括：衬底，衬底的部分区域被释放，形成有空腔；压电层，包括位于空腔上的第一部分和位于未被释放的衬底上的第二部分，压电层适用于在横向电场的作用下激发出声波；支撑锚单元，支撑锚单元设置在压电层的第一部分与压电层的第二...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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