下载发光二极管的分割装置和方法的技术资料

文档序号:37982402

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本公开提供了一种发光二极管的分割装置和方法,属于光电子制造技术领域。该分割装置包括:激光划片机构、外观检验机构、承载台、真空盘和移动机构;所述激光划片机构和所述外观检验机构间隔分布,所述真空盘位于所述承载台上,所述承载台位于所述移动机构上,...
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