温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种处理室包括上表面和喷头，喷头布置成穿过所述上表面将气体供应至所述处理室中。所述喷头的至少一部分在所述处理室的所述上表面上方延伸。护罩壳布置于所述处理室的所述上表面上。所述护罩壳被布置为围绕所述喷头的在所述处理室的所述上表面上方延伸的所述...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。