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惯性测量装置制造方法及图纸
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下载惯性测量装置的技术资料
文档序号:37981100
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本发明提供惯性测量装置,降低水分的影响且具有优异的检测精度。惯性测量装置具备:第一惯性传感器;第一惯性传感器模块,其是将所述第一惯性传感器收纳于树脂制的第一封装件中而成的;基座,其具有凹部,由陶瓷构成;盖体,所述第一惯性传感器模块被收纳于所...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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