惯性测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供惯性测量装置，降低水分的影响且具有优异的检测精度。惯性测量装置具备：第一惯性传感器；第一惯性传感器模块，其是将所述第一惯性传感器收纳于树脂制的第一封装件中而成的；基座，其具有凹部，由陶瓷构成；盖体，所述第一惯性传感器模块被收纳于所述基座与所述盖体之间的收纳空间内，并被气密密封。并被气密密封。并被气密密封。

【技术实现步骤摘要】
惯性测量装置


[0001]本专利技术涉及惯性测量装置。

技术介绍

[0002]已知有具备如下这样的惯性传感器模块的惯性测量装置：该惯性传感器模块具有加速度传感器、角速度传感器等惯性传感器。惯性测量装置组装于各种电子设备、机械，或者搭载于汽车等移动体，用于进行加速度、角速度等惯性量的监视。
[0003]例如，在专利文献1中，记载了一种传感器单元，其具有传感器器件，所述传感器器件具备利用密封树脂进行树脂密封的惯性传感器。
[0004]专利文献1：日本特开2017
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49122号公报
[0005]若水分从外部侵入上述那样的密封树脂，则存在密封树脂的应力变动的情况。当密封树脂的应力发生变动时，惯性传感器会发生变形，从而有可能对传感器器件的测量造成影响。即，需要降低水分的影响、具有优异的检测精度的惯性测量装置。

技术实现思路

[0006]本申请的一个方式的惯性测量装置具备：第一惯性传感器；第一惯性传感器模块，其是将所述第一惯性传感器收纳于树脂制的第一封装件中而成的；基座，其具有凹部，由陶瓷构成；以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种惯性测量装置，其中，所述惯性测量装置具备：第一惯性传感器；第一惯性传感器模块，其是将所述第一惯性传感器收纳于树脂制的第一封装件中而成的；基座，其具有凹部，由陶瓷构成；以及盖体，所述第一惯性传感器模块被收纳于所述基座与所述盖体之间的收纳空间内，并被气密密封。2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其中，所述基座与所述盖体通过焊接被接合起来。3.根据权利要求1或2所述的惯性测量装置，其中，在所述收纳空间中收纳有吸气剂。4.根据权利要求1或2所述的惯性测量装置，其中，在所述收纳空间中收纳有与所述第一惯性传感器模块电连接的电子部件。5.根据权利要求1或2所述的惯性测量装置，其中，所述第一惯性传感器模块具备：第一面，其具有多个电极端子；和第二面，其为所述第一面的相反侧的面，所述凹部具有：收纳部，其将载置面作为底部；周缘部，其比所述载置面高出一阶，并包围所述收纳部，所述第一惯性传感器模块以所述第二面朝向所述凹部的状态被搭载于所述载置面，在所述周缘部设置有与所述电极端子对应的连接端子，所述电极端子与所述周缘部的所述连接端子之间通过键合线被连接起来。6.根据权利要求5所述的惯性测量装置，其中，在所述第一惯性传感器模块的所述第二面与...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边徹，佐久间正泰，松冈弘树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：